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중성자깊이분포측정
중성자깊이분포측정 NDP Neutron Depth Profiling
  • 중성자빔을 이용해 경원소의 깊이별 농도를 미량까지 정밀하게 분석할 수 있는 장치

이용문의

  • 김진환 선임연구원
  • 하나로이용부
  • 042-868-8936

주요특징

  • 냉중성자빔(cold neutron beam) 이용
  • 헬륨, 리튬, 붕소, 질소, 산소, 염소 등 분석
  • 분석깊이 : 수 마이크로미터
  • 분석감도 : 수백 ppb(입자 1000억개 중 1개만 존재해도 확인 가능)

활용분야(응용분야)

  • 반도체 및 합금 내 근표면 원소 분석 및 산화도 평가
  • 리튬 이차전지의 전극 소재, 분리막 내 리튬 거동 분석
  • 박막 두께 측정
  • 이온주입기, 증착 장비의 검교정 및 성능평가

대표성과

  • 실리콘 웨이퍼의 붕소 도핑 농도 분석
  • 이차전지 전극재의 Li-6 depth profile 분석
  • LCO 증착 시편의 리튬 농도 분석