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다중 펄싱 플라즈마원 및 분할 전극 기반 대면적 균일 고종횡비·저손상 식각장비
- 카테고리
- 기계 · 설비
- ㄷ
- 2022.05.23
- 조회수
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다중 펄싱 플라즈마원 및 분할 전극 기반 대면적 균일 고종횡비·저손상 식각장비